Ассортимент продукции специально приспособлен для применения в полупроводниковой промышленности и включает в себя такие компоненты, как регуляторы давления и клапаны, вплоть до панелей, VMP, VMB и газовых шкафов. Продукция Spectropur изготовлена из переплавленной нержавеющей стали с электрополированными поверхностями. Регуляторы давления и клапаны построены с диафрагмами Hastelloy. Компоненты, оптимизированные для мертвого пространства, герметизируются металлом по металлу с использованием технологии VCR. Запатентованные продувочные устройства обеспечивают требуемую чистоту газа.
Приложения
Spectropur-продукты могут использоваться для самых разнообразных применений:

     Производство полупроводников
     Исследования (НИОКР)
     Технология оптических волокон
     Лазерные приложения
     ... и многие другие приложения с самыми высокими требованиями с точки зрения чистоты, частиц, автоматизации и безопасности.

Технические данные

     Давление на входе: макс. 200 бар
     Выходное давление: 1,5 бар - 10 бар
     Макс. поток: 100 Нм³ / ч
     Скорость утечки: 1 x 10-9 мбар / с