Сенсоры давления в основе которых лежит пьезорезистивный метод измерения давления построены на интегральных чувствительных элементах из монокристаллического кремния. Кремниевые преобразователи имеют высокую временную и температурную стабильность. Для измерения давления чистых неагрессивных диэлектриков применяются, так называемые, Low cost — решения, основанные на использовании чувствительных элементов либо без защиты, либо с защитой силиконовым гелем. Для измерения агрессивных сред и большинства промышленных применений используются сенсоры давления в герметичном металлическом корпусе, с разделительной мембраной из нержавеющей стали или тантала, передающей давление измеряемой среды посредством кремнийорганической жидкости